Генератор кисню PSA для напівпровідника

Чому напівпровідникова промисловість потребує генераторів кисню PSA?

 

Постачання газу з високою чистотою:Виробництво напівпровідників має суворі вимоги до чистоти газу, а кисень з високою чистотою є незамінним для літографії, очищення та інших зв’язків. За допомогою технології адсорбції розгойдування тиску генератор кисню PSA виробляє кисень з чистотою 95%± 3%, що відповідає вимогам утворення оксидного шару та очищення пластини та уникає ризику забруднення нечистоти традиційного подачі кисню газових циліндрів.
Забезпечити стабільність процесу:Напівпровідникові виробничі лінії потребують постійного та стабільного подачі газу. Генератор кисню PSA використовує подвійні адсорбційні вежі для роботи по черзі, і завдяки інтелектуальному контролю PLC він може досягти 24- години безперебійного подачі кисню, уникати перебоїв у виробництві, спричинених ручною заміною пляшок, та адаптується до процесів, чутливих до тиску повітря, таких як тонке осадження плівки та травлення.
Зменшити витрати та оптимізувати простір:Порівняно з резервуарами для зберігання рідких кисню та газовими циліндрами високого тиску, генератори кисню PSA виробляють кисень на місці, значно зменшуючи витрати на транспортування та зберігання. Він має невеликий слід і підтримує модульне розширення, яке відповідає потребам максимізації використання простору в чистих семінарах напівпровідникових заводів. Вартість довгострокового використання приблизно на 20% нижча, ніж традиційний метод.
Пристосуватися до спеціальних процесів:У розширених процесах деякі спеціальні процеси потребують точного контролю концентрації кисню. Генератор кисню PSA може гнучко відрегулювати чистоту виходу кисню (95%-99. 9%), регулюючи співвідношення адсорбції та молекулярне співвідношення сито для задоволення спеціальних вимог до виробництва 3D Nand Flash.
Екологічно чистий та простий у обслуговуванні:Технологія PSA не потребує хімічних реагентів, а процес виробництва кисню не випромінює шкідливі речовини, що відповідає стандартам захисту навколишнього середовища напівпровідникової галузі. Обладнання використовує нержавіючу сталь продовольства та самоочищення молекулярних ситів, з циклом технічного обслуговування до 3-5 років, і підходить для виробничих середовищ високої чистоти.
 

Безкоштовна консультація

 

Типи рослин кисню PSA

Модульне обладнання

 

Обладнання для близнюків

 

Контейнерне обладнання

 

1. Наскільки високою може бути чистота кисню, і чи відповідає вона вимогам виробництва напівпровідників?
Наш генератор кисню PSA для напівпровідників може регулярно виробляти кисень з чистотою 95%± 3%. Для деяких процесів, які потребують надзвичайно високої чистоти кисню, шляхом регулювання параметрів обладнання чистота виходу кисню може гнучко контролювати в межах 95% - 99. 9%, повністю відповідаючи суворим вимогам для чистоти газу в основних зв’язках, таких як напівпровідникова літографія, очищення та окислення.

2. Наскільки стабільним є обладнання, і чи може воно забезпечити безперервну роботу напівпровідникової виробничої лінії?
Обладнання приймає подвійну адсорбційну вежу, що чергує робочий режим у поєднанні з інтелектуальною системою управління PLC для досягнення 24- години безперебійного та стабільного подачі кисню. Цей режим автоматизованої роботи дозволяє уникнути перебоїв у подачі газу, спричинених ручною заміною пляшок, забезпечує надійне та стабільне подачу газу для таких процесів, як тонке осадження плівки та травлення, чутливі до тиску повітря, і ефективно знижує ризик виникнення перебоїв у виробництві, спричинених проблемами подачі газу.

3. У порівнянні з традиційними методами постачання кисню, яка вартість використання?
Порівняно з резервуарами для зберігання рідкого кисню або газовими циліндрами високого тиску, наш генератор кисню PSA приймає режим виробництва кисню на місці, який значно економить витрати на транспортування та зберігання кисню. Обладнання займає невелику територію і може бути розширене модульним, зменшуючи витрати на оренду майданчиків. У довгостроковій перспективі вартість приблизно на 20% нижча, ніж традиційний метод постачання кисню, що значно економить експлуатаційні витрати.

4. Чи складне обслуговування обладнання? Скільки триває цикл технічного обслуговування?
Обладнання легко обслуговувати, використовуючи нержавіючу сталь харчових продуктів та самоочищення молекулярних ситів, що значно знижує навантаження на технічне обслуговування. За звичайних обставин цикл технічного обслуговування знаходиться до тих пір, поки 3-5 років, і ми оснащені професійною командою післяпродажних служб, щоб забезпечити технічну підтримку в будь-який час, щоб допомогти вам вирішити проблеми під час роботи обладнання.

Популярні Мітки: Генератор кисню PSA для напівпровідника, Китайський генератор кисню PSA для напівпровідника, постачальників, фабрики